的 SCREWLINE SP 系列干式螺杆泵是为满意半导体、镀膜、冶金、检漏、枯燥
排气量简直不受排气压力影响；2.可靠性高。干式真空泵没有简单损坏物件，零部件少，
不受水蒸气、尘埃颗粒等影响；3.少了处理废水、废油的费用，也避免了其对泵
的参数，通常用符号 K 表明。面积利用系数可由转子端面型线方程经过相应数学
国内从事干式螺杆真空泵研讨的有东北大学[3]、南通威特真空设备有限公司、
等工业使用的特别的条件而专门开发的干式螺杆泵；2004 年，德国 Busch 公司为
型干式螺杆真空泵系列；英国 Edward 公司的 CDX1000 型螺杆真空泵首要使用于
中国企业在 2008 年也将螺杆真空泵的出产进入批量化出产，在化工制药等职业
泵已进入规模化出产阶段，其首要出产厂商有：德国的 Leybold 公司和 Busch
步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了许多研讨。
定的研讨，宣布学术论文多篇[5] [6] [7]。合肥工业大学的贾寅对单头号螺距内凹转
子型线也做了相关的研讨及优化规划[8]。因为各国都对自己的螺杆泵技能保密，