真空泵是一种用于生成高真空的设备。其工作原理是利用机械、物理或化学方法将气体分子从封闭的容器中排出，以此来降低容器内的气体压力。主要的真空泵原理有以下几种：

  1、 机械泵：利用机械方式将气体分子从容器中抽出，常见的有旋片泵、罗茨泵等。

  2、 漏斗泵：利用气体分子在漏斗形容器壁上反复碰撞，从而将气体抽出，常见的有扩散泵、离子泵等。

  3、 分子泵：利用非常快速地旋转的转子和静电场将气体分子加速排出容器，常见的有离心泵、螺旋泵等。

  2、 泵油污染：导致泵油流动性变差，影响真空泵的工作正常，要换掉泵油。

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