螺杆真空泵是使用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而发生的吸气和排气效果的抽气设备，两螺杆经精密动平衡校对，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有必定的空隙，因而泵作业时，相互之间无磨擦，作业平稳，噪音低，作业腔无需润滑油，因而，干式螺杆泵能抽除含有许多水蒸汽及少数粉尘的气体场合，极限真空更高，耗费功率更低，具有节能，免修理等。它是油封式真空泵的更新产品。

  现在真空泵的开展愈来愈遭到真空使用场合的影响，一般的真空体系不足以满意清洁无油及耐腐蚀的要求，因而近年来干式真空泵商场需求量很大,真空取得产品已然显现更新的局势,许多的有油真空体系已被无油清洁的真空体系所替代。每一家较大的真空公司都出产不一样型式的干式真空泵.螺杆真空泵归于非触摸型干式泵,是20世纪90年代初期呈现的一种抱负的泵种,以其抽速规模宽、结构相对比较简单紧凑、抽气腔元件无冲突、、能耗低、无油污染等得以使用。

  干式螺杆真空泵因为其的功能，在欧美和现在渐渐的变成了微电子、半导体、制药、加工等职业真空取得设备，在螺杆压缩机基础上，很早就出了真空泵的多头转子型线，并投入商场。几家真空设备公司也逐渐的出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了许多研讨。企业在2008年也将螺杆真空泵的出产进入批量化出产，在化工制药等职业得到很好的使用。