，无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。大致上可以分为干式螺杆真空泵和涡旋式干两种。

  干式螺杆真空泵为整体结构—机泵同轴的单级泵。干式螺杆真空泵由泵盖、泵体、圆盘，叶轮、机械密封、电动机等零部件组成。进气管排气管通过安装在泵盖上的园盘上的吸气孔和排气孔与泵腔相连，轴偏心地安装在泵体中，叶轮用平键固定在轴上，干式螺杆真空泵两端面的部间隙由泵体和园盘之间的垫来调整，叶轮与泵盖上的园盘之间的间隙由园盘和泵体之间的垫来调整，叶轮两端面与泵盖上园盘之间间隙决定气体在泵腔内由进气口至排气口流动中损失的大小及其极限压力。

  干式螺杆真空泵的密封采用机械密封，机械密封安装在叶轮和泵体间。由机械密封定出叶轮与泵体之间的间隙。在干式螺杆真空泵盖上安装有园盘，园盘上设有吸、排气孔和柔性排气阀片，柔性阀片的作用是当叶轮叶片间的气体压力达到排气压力时，在排气口以前就将气体排出，减少了因气体压力过大而消耗的功率、以此来降低率消耗。

  螺杆真空泵的内核部分——螺杆转子，采用三维曲面数学模型设计、求解，通过模型的实体在五坐标联动的数控设备上加工，精度高，质量放心可靠，稳定性很高，保证了产品长时间无故障运行。本产品的自主创新性，产品质量及价格都有着非常强的市场竞争力，可大范围替代进口产品，市场需求量大，将在化工、冶金、电子、石油、航空航天、工具、造纸、包装、食品、医药、医疗器械、以及信息工程、生物工程、微电子等100多个领域全面取代目前技术上的含金量较低的真空设备。

  干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是传统真空泵的更新换代产品，未来具有极大的市场前景。

  干式螺杆真空泵是技术上的含金量非常高的科学技术产品，主要使用在于高纯净的真空工艺过程 , 真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适 宜于 洁净环境，且易做防腐处理，非常适合于电子，化工，生物医药，金属加工，食品加工等领域。

  干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。

  的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子的旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，现在以其中一对齿来说明。吸气过程

  阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。

  转于端面是排气端面。在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转于沿逆时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。

  的排气过程，齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出，