在真空使用中,怎么清楚自己的真空室能抵达什么样的极限真空,与哪一些原因有关,螺杆真空泵厂家来告诉您。
螺杆真空泵厂家在真空泵的极限真空度介绍中,介绍过真空泵的极限真空是在不引进气体的状态下经过长期抽气后所能抵达的一个安稳的真空度。但在实践使用中,并不是说选了一个1Pa极限真空的真空泵,就能让线Pa的极限真空。由于在真空体系中,不单单是真空室,还包含真空泵、管路阀门等等这些,都会存在漏气以及资料自身的放气,还有一些经过器壁浸透进来的气体、资料自身的蒸气(主要是超高真空体系中)。因而真空泵或许真空抽气机组在对真空室的抽气过程中,受这些不断发生的气体影响,很难抵达设备自身的极限真空度。
因而真空室所能抵达的极限真空,一般总是低于真空泵、真空抽气机组的极限真空的。它的影响要素一方面取决于选型的真空泵设备所能抵达的极限真空度,另一方面还取决于真空室抽气口处泵的有用抽速与空载时真空室内的气体负荷(漏气、放气、浸透)。总的来说,真空泵或许真空抽气机组的极限真空度越高,相对有用抽速就会越大,真空室的极限真空度也就越高;一起空载时真空室内的气体负荷越小,它的极限真空也更高。
用式子来表达便是:真空室的极限真空=真空泵或真空机组的极限真空+(真空室的漏气流量+资料放气、解吸流量+器壁浸透气体流量)/抽气口真空泵有用抽速+真空室资料饱满蒸气压力。关于常见的中低真空使用中,真空室的气体负荷一般只考虑漏气,也便是:真空室的极限真空=真空泵或真空机组的极限真空+真空室的漏气流量/抽气口真空泵有用抽速。
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