螺旋干式真空泵,是依据螺杆式紧缩机的作业原理作成的。最近开发的这种泵共有两种结构。
在螺杆式紧缩机中,螺旋转子的螺旋圈数在一圈以内,而螺杆线圈以上, 这样可削减返流量, 进步紧缩比, 单级泵可从大气压抽到1Pa的极限压力,抽速为60～ 120m3/h,有市售产品。
② 矩形螺旋式线 所示, 有矩形断面的右螺旋和左螺旋的一对转子相啮合, 由同步齿轮带动完成非触摸式的高速工作, 气体由上侧进入, 在泵腔内紧缩由
转子下端扫除,转子旋转一周排气一次。转子和泵体内标明发生一种螺旋密封结构, 矩形断面空隙走漏较少,故可得到较高的紧缩比, 泵的紧缩比和抽速与转子的螺旋导角,转子与泵体的空隙,螺旋的啮合率,螺旋圈数,转子直径和旋转速度等要素相关。因为它的螺旋圈数多, 比上述的螺杆式干泵的紧缩比高, 而抽速低, 这种泵可从大气压抽到极限压力10
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