干式螺杆真空泵，是使用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而发生的吸气和排气效果的抽气设备。

  螺杆式干式真空泵的作业进程可分为吸气、紧缩和排气三个进程。跟着转子的旋转，每对彼此啮合的齿相继完结相同的作业循环，现在以其中一对齿来阐明。

  阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。

  转子端面是排气端面。在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转子沿逆时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。

  螺杆泵的排气进程，齿间容积与排气孔口连通后，即开端排气进程。跟着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐步经过排气孔口被排出。

  螺杆式干式真空泵大规模的使用于电子、核能、化工、医药、食物制作业等范畴。在半导体工业顶用来出产芯片、制作液晶显示器、蚀刻、出产PLASMA的CVD制程。

  在核工业顶用于核反应堆及核工业真空取得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效收回溶剂，在脂肪酸出产顶用来消除水污染，铲除喷射器中的堵塞物;医药工业顶用于收回药液及药物中间体，为人工器官出产供给清洁无菌条件，收回气体消毒剂;食物制作业顶用于香料、香精浓缩，食物包装等。

  详细使用：枯燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂的收回、油气收回、工厂一般真空、电子、真空镀膜、航空、核工业范畴 可以抽除一般空气，易燃易爆气体、腐蚀性气体，尤其能满意对取得清洁真空要求比较高的环境。详细使用：真空镀膜、真空蒸馏、真空枯燥、拉单晶、特气制作、离子刻蚀等。

  纺织、冶金等职业 在氨纶、芳纶、纤维、冶金等相关工艺中使用干式真空泵， 详细使用：真空脱泡、VOD真空吹氧脱碳法等。

  一类是以半导体职业为代表，要求真空泵向被抽暇间内的返流为零，以维护工件免受污染。对半导体职业中使用的真空体系的要求大体分为三个等级。

  另一类是以石化职业为代表，要求真空泵能很多抽除可凝性气体，或腐蚀性气体，或有毒气体，或含有微尘的气体。螺杆式干式真空泵大规模的使用于电子、核能、化工、医药、食物制作业等范畴。在半导体工业顶用来出产芯片、制作液晶显示器、蚀刻、出产PLASMA的CVD制程。

  在核工业顶用于核反应堆及核工业真空取得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效收回溶剂，在脂肪酸出产顶用来消除水污染，铲除喷射器中的堵塞物;医药工业顶用于收回药液及药物中间体，为人工器官出产供给清洁无菌条件，收回气体消毒剂;食物制作业顶用于香料、香精浓缩，食物包装等。